[发明专利]一种在碱溶液中利用飞秒激光制备黑硅的方法

摘要

本发明提供一种在碱溶液中利用飞秒激光制备黑硅的方法，其包括以下步骤步骤1，在温度为22±1℃的条件下，配制质量百分比为2wt％的碱溶液；步骤2，将抛光硅片放入步骤1配置的所述碱溶液；步骤3，用飞秒激光脉冲对所述碱溶液中放入的所述抛光硅片进行扫描处理，获得黑硅。本发明的在碱溶液中利用飞秒激光制备黑硅的方法不需要使用真空设备，节省了成本，而且避免了六氟化硫和硫化氢等含硫元素的危险气体产生。而且制备过程简单易操作，使用的是2wt％的碱溶液，浓度低、成本低廉，几乎不会对环境和人体产生危害，安全性高。

主权项

一种在碱溶液中利用飞秒激光制备黑硅的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，在温度为22±1℃的条件下，配制质量百分比为2wt％的碱溶液；步骤2，将抛光硅片放入步骤1配置的所述碱溶液；步骤3，用飞秒激光脉冲对所述碱溶液中放入的所述抛光硅片进行扫描处理，获得黑硅；该方法还包括步骤4：步骤4，利用扫描探针显微镜观察所述步骤3获得的黑硅的结构，通过改变所述飞秒激光脉冲的单脉冲能量和扫描速度以及所述碱溶液的温度获得黑硅；所述黑硅的表面呈现丛林状；所述飞秒激光脉冲由钛宝石飞秒激光再生放大器产生；钛宝石飞秒激光再生放大器的中心波长为800nm、脉冲宽度60fs、重复频率1kHz、最大平均功率3W。