[发明专利]高稳定性转镜干涉仪有效
| 申请号： | 201410284098.8 | 申请日： | 2014-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN104034423A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 相里斌;张文喜;方煜;谭政;周志盛;吕群波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G01J3/45 | 分类号： | G01J3/45;G01J3/26 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;郑哲 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高稳定性转镜干涉仪，包括分束器、第一平面反射镜、第二平面反射镜、倾斜反射镜、第三平面反射镜以及能量收集镜，其中，所述第一平面反射镜与所述第二平面反射镜平行设置构成旋转反射镜组，所述旋转反射镜组固定连接转轴，通过所述转轴的旋转所述旋转反射镜组转动，所述倾斜反射镜具有倾角，所述旋转反射镜组的出射光垂直入射所述倾斜反射镜。采用一对平行平面镜保证了入射光线和出射光线平行，平面镜组的旋转保证了系统自稳定性和减少了探测时间，系统结构简单，降低了加工装调难度和生产成本的。 | ||
| 搜索关键词： | 稳定性 干涉仪 | ||
【主权项】：
一种高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，包括分束器、第一平面反射镜、第二平面反射镜、倾斜反射镜、第三平面反射镜以及能量收集镜，其中，所述第一平面反射镜与所述第二平面反射镜平行设置构成旋转反射镜组，所述旋转反射镜组固定连接转轴，通过所述转轴的旋转所述旋转反射镜组转动，所述倾斜反射镜具有倾角，所述旋转反射镜组的出射光垂直入射所述倾斜反射镜：平行光进入所述分束器后，一路透射光线垂直到达所述第三平面反射镜得到第一透射光线，另一路反射光线到达所述第一平面反射镜得到第一反射光线；所述第一透射光线经所述第三反射镜反射后沿原光路返回，再次通过所述分束器反射得到第二反射光线；所述第一反射光线顺序经过所述第一平面反射镜和所述第二平面反射镜反射后，垂直入射到所述倾斜反射镜，经所述倾斜反射镜反射光线顺序经过所述第二平面反射镜和所述第一平面反射镜沿原光路返回，再次通过所述分束器透射后得到第二透射光线；所述第二反射光线与所述第二透射光线经所述能量收集镜会聚到达探测器互相干涉。
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