[发明专利]灰阶掩模板和彩膜基板及制作方法、显示装置在审
申请号: | 201410286326.5 | 申请日: | 2014-06-24 |
公开(公告)号: | CN104155843A | 公开(公告)日: | 2014-11-19 |
发明(设计)人: | 吴洪江;袁剑峰;黎敏 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | G03F1/32 | 分类号: | G03F1/32;G03F7/00;G02F1/1333;G02F1/1335;G02F1/1339 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 李相雨 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了灰阶掩模板及其制作方法、彩膜基板及其制作方法、显示装置。本发明的灰阶掩模板,包括透明基板和形成于所述透明基板上的遮光层,所述遮光层包括曝光区,其中:所述曝光区形成有光学半透膜,所述光学半透膜的透光率从所述光学半透膜的中间区域向所述光学半透膜的边缘区域逐渐下降或梯次下降。本发明的灰阶掩模板的曝光区的透光率整体较均匀,因而通过该灰阶掩模板制作的柱状物的顶面呈平面状而不是传统的凸面状,这样在受到外力作用下时其硬度呈现出线性变化,避免或减轻液晶面板对外界压力变化比较敏感的L0漏光和Touch Mura等不良。 | ||
搜索关键词: | 灰阶掩 模板 彩膜基板 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】:
一种灰阶掩模板,其特征在于,包括透明基板和形成于所述透明基板上的遮光层,所述遮光层包括曝光区,其中:所述曝光区形成有光学半透膜,所述光学半透膜的透光率从所述光学半透膜的中间区域向所述光学半透膜的边缘区域逐渐下降或梯次下降。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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