[发明专利]处理设备

摘要

本发明的处理设备构成为在由容器支撑体支撑着容器的状态下，容器侧接合面与支撑体侧接合面接合，供给孔或者排出孔与连通孔连通，容器侧接合面是至少连通孔的周围平坦地形成，支撑体侧接合面为随着离开供给孔或者排出孔而逐渐朝向下方的形状。

主权项

1.一种处理设备，具备：容器，收容收容物，容器支撑体，对前述容器以与设定位置对位的状态从下方进行支撑；容器侧连接部，设在前述容器的底部，具有能够将容器内空间与外部之间连通的连通孔；支撑体侧连接部，设在前述容器支撑体上，具备用于进行气体向前述容器内空间供给的供给孔或者用于进行气体从前述容器内空间排出的排出孔；在此，在前述容器由前述容器支撑体支撑的载置状态下，作为前述容器侧连接部的下表面的容器侧接合面与作为前述支撑体侧连接部的上表面的支撑体侧接合面接合，前述供给孔或者前述排出孔与前述连通孔连通；前述处理设备的特征在于，前述容器侧接合面是至少前述连通孔的周围平坦地形成，前述支撑体侧接合面为随着离开前述供给孔或者前述排出孔而逐渐朝向下方的形状，在前述支撑体侧连接部与前述容器支撑体之间夹有弹性部件，前述支撑体侧连接部由弹性系数比前述弹性部件大的材质构成。