[发明专利]一种宽光谱光干涉法测量薄膜厚度的系统

摘要

一种宽光谱光干涉法测量薄膜厚度的系统，属薄膜测厚技术领域。包括ASE光源，波长解调仪及法珀腔干涉平台等。该系统利用光纤准直器将激光器输出的光垂直打到反射镜面，从而在准直器端面和反射镜面中间形成法珀腔，使两束反射光形成干涉，从而通过波长解调仪解调出干涉光的强度变化，再通过相位解调算法，求得没有加入薄膜时法珀腔的腔长，之后在工件下面放上薄膜，抬高反射镜，缩短反射镜到准直器的距离，改变法珀腔的腔长，求得加入薄膜后法珀腔的腔长，没有加入和加入薄膜的两个腔长的差值即为薄膜的厚度。本发明系统通过测量距离间接地求得薄膜的厚度，既能测量透明薄膜也可以测量不透明薄膜。该系统构造简单，测量精度很高，比较容易实现。

主权项

一种宽光谱光干涉法测量薄膜厚度的系统，包括ASE光源、波长解调仪、1*2耦合器、计算机、光纤准直器和法珀腔干涉平台，其特征在于1*2耦合器的1号端口接ASE光源；1*2耦合器的2号端口接波长解调仪，波长解调仪与计算机相连；1*2耦合器的3号端口接光纤准直器，光纤准直器固定在法珀腔干涉平台上；法珀腔干涉平台包括反射镜，防震平台、两根支撑杆和两根固定杆，右支撑杆固定在防震平台的边沿上且与防震平台相垂直，两根固定杆一端带有固定夹，另一端带有套筒，套筒套在右支撑杆上并能沿右支撑杆上下移动，固定杆的套筒上带有紧固螺丝，通过紧固螺丝能将固定杆固定在右支撑杆上；光纤准直器由上固定杆上的固定夹固定，并由上固定杆将其固定在法珀腔干涉平台的右支撑杆上，反射镜由下固定杆上的固定夹固定，并由下固定杆将其固定在法珀腔干涉平台的右支撑杆上；防震平台上放置中间有通透圆孔的长方体形的铁制压块，压块上的圆孔和其上端固定在两固定杆上的光纤准直器及反射镜处于同一垂直线上，压块与反射镜通过一个左支撑杆相连，使得压块与左支撑杆和反射镜能整体垂直移动，反射镜水平放置，抬起压块，即可将薄膜放入压块与防震平台的中间。