[发明专利]一种高灵敏度叠层式挠曲电压力传感器有效
| 申请号： | 201410290568.1 | 申请日： | 2014-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN104089737A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 卢建锋;梁旭;胡淑玲;申胜平;徐明龙 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 何会侠 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种高灵敏度叠层式挠曲电压力传感器，包括测量微压力引起机械变形的金属弹性元件，在其顶部粘贴有多层挠曲电介电薄膜，挠曲电介电薄膜上下表面分别设有上金属电极和下金属电极，上金属电极和下金属电极之间通过绝缘层隔开，挠曲电介电薄膜的上金属电极和下金属电极分别连有输出测量电荷信号的引线，挠曲电介电薄膜连同上金属电极和下金属电极以及绝缘层均置于外壳内，引线的一端从外壳引出，金属弹性元件和外壳间设有绝缘垫片，金属弹性元件下方具有施加压力的压力通道；本发明通过所施加压力与金属弹性元件中机械变形的应变梯度之间的线性关系测量薄膜上受到的压力，通过叠层的方式提高输出电荷，从而提高灵敏度，能够准确、简单的实现压力的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 叠层式 挠曲 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种高灵敏度叠层式挠曲电压力传感器，包括测量微压力引起机械变形的金属弹性元件(2)，其特征在于：在所述金属弹性元件(2)的顶部粘贴有多层挠曲电介电薄膜(6)，所述挠曲电介电薄膜(6)上下表面分别设置有上金属电极(7)和下金属电极(8)，所述上金属电极(7)和下金属电极(8)之间通过绝缘层(5)隔开，所述挠曲电介电薄膜(6)的上金属电极(7)和下金属电极(8)分别连接有输出测量电荷信号的引线(4)，引线(4)的一端从外壳(1)引出，所述挠曲电介电薄膜(6)连同上金属电极(7)和下金属电极(8)以及绝缘层(5)均置于外壳(1)内，所述金属弹性元件(2)和外壳(1)间设置有绝缘垫片(9)，所述金属弹性元件(2)下方具有施加压力的压力通道(10)。
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