[发明专利]溶剂筒清洗系统有效

专利信息
申请号: 201410291559.4 申请日: 2014-06-26
公开(公告)号: CN104056832B 公开(公告)日: 2017-01-18
发明(设计)人: 殷福华;朱永刚;朱龙;赵文虎 申请(专利权)人: 江阴江化微电子材料股份有限公司
主分类号: B08B9/28 分类号: B08B9/28
代理公司: 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙)32247 代理人: 杨新勇
地址: 214400 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种溶剂筒清洗系统,通过使溶剂筒的内底面倾斜设置,并插入可以从溶剂筒内底面的最低处抽取洗液和废气的抽取管,因此溶剂筒内的洗液可以有效地排出;同时设计了进液、出液管路以及进气和排气管路,使抽取溶剂筒内洗液后残留的洗液也可以通过挥发被带出溶剂筒,从而提高了清洗净度。在此基础上,该本发明还改进了清洗管路结构,设计了可采用置换、回流方式清洗溶剂筒的管路结构,进一步提高了清洗净度,同时节约了溶剂和避免了污染。
搜索关键词: 溶剂 清洗 系统
【主权项】:
一种溶剂筒清洗系统,包括用于使溶剂筒内底面倾斜设置的支架或底座、用于密封溶剂筒顶部的进、出口的进、出口盖、用于从溶剂筒内最低处抽取流体的抽取管、以及用于向溶剂筒内喷射清洁流体的喷头;喷头的供料管穿过进口盖,同时与进液管路和进气管路相连通,进液管路和进气管路分别连通溶剂存储装置和气体存储装置,进液管路和进气管路上分别设有进液阀和进气阀;抽取管穿过出口盖,同时与出液管路和排气管路相连通;排气管路上设有排气阀并连通至废气排放口或废气收集装置或废气处理装置,出液管路上沿出液方向依次设有出液阀和抽液泵并连通至废液排放口或废液收集装置或废液处理装置;所述进气管路还设有用于加热管道内气体的加热装置。
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