[发明专利]一种环保型抛光液在审
| 申请号： | 201410291996.6 | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN104059544A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 范向奎 | 申请（专利权）人： | 青岛宝泰新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种环保型抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质：三偏焦磷酸1-3份，磷酸二氢钾5-13份，苯甲酸甲酯16-25份，乙二醇丁醚11-14份，马来酸酐9-13份，表面活性剂10-14份，有机添加剂7-9份，除油剂1-2份，碳酸钙7-10份，硬脂酸盐7-14份，三乙胺4-13份，酒石酸5-10份，硼酸锌4-13份，硬脂酰胺10-15份。本发明的抛光液性能稳定，抛光效果好，可满足制备纳电子相变存储器中工艺的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环保 抛光 | ||
【主权项】：
一种环保型抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质：三偏焦磷酸1‑3份，磷酸二氢钾5‑13份，苯甲酸甲酯16‑25份，乙二醇丁醚11‑14份，马来酸酐9‑13份，表面活性剂10‑14份，有机添加剂7‑9份，除油剂1‑2份，碳酸钙7‑10份，硬脂酸盐7‑14份，三乙胺4‑13份，酒石酸5‑10份，硼酸锌4‑13份，硬脂酰胺10‑15份。
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