[发明专利]一种制造表面粗糙度影响激光测量性能的试验装置及方法

摘要

本发明公开了一种制造表面粗糙度影响激光测量性能试验装置及方法，本装置利用标准80m长导轨来实现大距离测量，由激光干涉仪定位系统实现激光与物质表面的距离定位，光源为多波段可调，可为单色光源，亦可为多色光源，可满足不同波段以及调频连续波激光对表面散射特性影响研究的需要，光源后放置激光聚焦系统，可调整激光聚焦光斑直径大小，来满足激光光斑大小对散射光影响研究的需要，放置目标的双轴旋转系统及夹具采用防误差设计，能提高测量效率及测量精度，放置接收探测器的四分之一圆弧导轨设计能实现反射接收角的变化。该系统测量功能广泛，测量精度高、效率高，能实现远距离测量，对激光与物质表面相互作用影响的研究具有重要意义。

主权项

一种制造表面粗糙度影响激光测量性能的试验装置，其特征在于，所述试验装置包括：标准长导轨、光源、激光聚焦系统、载物平台、水平旋转台、垂直旋转台、样品夹具、连接杆、四分之一圆弧滑动导轨、接收探测器、激光干涉仪发射端、激光干涉仪接收端和PC机，所述光源、所述激光聚焦系统及所述激光干涉仪发射端固定在所述标准长导轨的一端，由所述水平旋转台和所述垂直旋转台组成双轴旋转系统、所述接收探测器及所述激光干涉仪接收端固定在由激光干涉仪控制的所述载物平台上，在所述标准长导轨上自由移动，所述样品夹具安装在所述垂直旋转台的轴心上，安装所述接收探测器的所述四分之一圆弧滑动导轨通过所述连接杆安装在所述垂直旋转台上，随所述垂直旋转台的转动而转动，所述水平旋转台、所述垂直旋转台、所述载物平台的位移、所述接收探测器在所述四分之一圆弧滑动导轨上的移动均由所述PC机统一控制。