[发明专利]一种宽带高性能人工太赫兹吸波材料及其设计方法

摘要

本发明公开了一种宽带高性能人工太赫兹吸波材料及其设计方法。本发明由多个材料单元组成，每个材料单元包括铬和光刻胶SU-8；具体的：在基底上设置有一层金属铬膜，该层金属铬膜作为防透射层；在金属铬膜上，光刻胶SU-8和铬的方块阵列自下而上交替叠加组成金字塔状；所述的铬的方块阵列有五层，且每层的厚度为200nm，其方块阵列边长自下而上依次有规律缩小，自下而上依次是：70μm、66μm、62μm、58μm和54μm；所述的每层光刻胶SU-8的厚度为4μm；材料单元周期为95μm；本发明实现了太赫兹波段的大带宽吸收效果；突破了传统超材料制作的工艺局限，完成了太赫兹波段三维人工特异介质的设计和制作。

主权项

 一种宽带高性能人工太赫兹吸波材料，其特征在于由多个材料单元组成，每个材料单元包括铬和光刻胶SU‑8；具体的：在基底上设置有一层金属铬膜，该层金属铬膜作为防透射层；在金属铬膜上，光刻胶SU‑8和铬的方块阵列自下而上交替叠加组成金字塔状。