[发明专利]一种多晶硅还原炉联锁系统

摘要

本发明提供一种多晶硅还原炉联锁系统，控制器能够在电控柜处于停止状态时，触发电控柜停止联锁，关闭并锁死三氯氢硅切断阀，从而在电控柜断电停机时，及时阻断三氯氢硅进料，保证多晶硅产品的品质；以及，控制器能够在电控柜处于停止状态，并检测到含氢废气切断阀、不含氢废气切断阀、尾气切断阀和抽真空切断阀当中任一个阀门处于开启状态时，控制关闭并锁死其余的3个阀门，从而避免含氢废气管线、不含氢废气管线、高温尾气管线和抽真空管线内的废气反窜带来的闪爆、设备损坏等安全事故和财产损失，提高多晶硅生产的安全性，延长尾气处理设备的使用寿命。

主权项

一种多晶硅还原炉联锁系统，包括：控制器、电控柜、用于控制三氯氢硅进料管线导通或断开的三氯氢硅切断阀、用于控制含氢废气管线导通或断开的含氢废气切断阀、用于控制不含氢废气管线导通或断开的不含氢废气切断阀、用于控制尾气管线导通或断开的尾气切断阀和用于控制抽真空管线导通或断开的抽真空切断阀，其特征在于，控制器用于，根据预设的控制周期获取还原炉的状态信号，当获取到还原炉的停止状态信号时，向三氯氢硅切断阀发送关闭控制信号，并锁死三氯氢硅切断阀，以触发电控柜停止联锁，以及，检测含氢废气切断阀、不含氢废气切断阀、尾气切断阀和抽真空切断阀的状态，以投用尾气阀互锁联锁；当检测到含氢废气切断阀、不含氢废气切断阀、尾气切断阀和抽真空切断阀当中任一个阀门处于开启状态时，向其余的3个阀门发送关闭控制信号并锁死，以触发尾气阀互锁联锁；其中，所述其余的3个阀门是指所述含氢废气切断阀、不含氢废气切断阀、尾气切断阀和抽真空切断阀中除所述处于开启状态的阀门之外的3个阀门。