[发明专利]硅片传输控制方法及系统

摘要

本发明公开了一种硅片传输控制方法及系统，其中方法包括：在工艺过程中，实时计算工艺腔室中的当前硅片的工艺剩余时间；比较当前硅片的工艺剩余时间与预设的传片时间之间的大小，其中，预设的传片时间为机械手将片盒中的硅片传输至对应工艺腔室所需的平均时间；若当前硅片的工艺剩余时间小于或等于预设的传片时间，则控制机械手执行下一片硅片的传片动作。本发明的硅片传输控制方法及系统，减少甚至消除了硅片在传输腔中的等待时间，从而避免了由于等待造成的硅片的污染，在提升了硅片传输效率的同时提高了机台良率。

主权项

1.一种硅片传输控制方法，其特征在于，包括以下步骤：在工艺开始前，取首次进行工艺的硅片作为输入，计算初始的硅片传输序列；在工艺过程中，实时计算工艺腔室中的当前硅片的工艺剩余时间；所述在工艺过程中，实时检测工艺腔室中的当前硅片的工艺剩余时间，包括以下步骤：在工艺开始后，实时监测工艺腔室中的所述当前硅片的工艺进行时间；根据获取的所述当前硅片的工艺进行时间和工艺制程中预设的当前硅片的总工艺时间，计算所述当前硅片的工艺剩余时间，所述当前硅片的工艺剩余时间等于所述当前硅片的总工艺时间与所述当前硅片的工艺进行时间的差值；比较所述当前硅片的工艺剩余时间与预设的传片时间之间的大小，其中，所述预设的传片时间为机械手将片盒中的硅片传输至对应工艺腔室所需的平均时间；若所述当前硅片的工艺剩余时间小于或等于所述预设的传片时间，则控制机械手执行下一片硅片的传片动作；在工艺过程中，在判断所述当前硅片的工艺剩余时间小于或等于所述预设的传片时间，且所述片盒中还存在未进行工艺的硅片后，将当前工艺腔室中的硅片和所述片盒中下一片需要进行该工艺制程的硅片作为输入，重新计算所述硅片传输序列；所述若所述当前硅片的工艺剩余时间小于或等于所述预设的传片时间，则控制机械手进行下一片硅片的传片动作，包括以下步骤：若所述当前硅片的工艺剩余时间小于或等于所述预设的传片时间，则判断片盒中是否还存在未进行工艺的硅片；若判断为是，则控制机械手从所述片盒中取片，然后将取出的硅片按照工艺制程中的传输路径进行传输；若判断为否，则等待当前硅片的工艺完成，并在工艺完成后结束工艺制程。