[发明专利]一种存储器抛光液在审
| 申请号： | 201410296803.6 | 申请日： | 2014-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN104046277A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 范向奎 | 申请（专利权）人： | 青岛宝泰新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/18 | 分类号： | C09G1/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种存储器抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质：酸式焦磷酸钠1-8份，磷酸铝钠8-16份，表面活性剂1-7份，有机添加剂1-3份，调节剂1-2份，草酸钠8-10份，除油剂3-8份，除油粉7-12份，无水硫酸钠10-16份，氨水7-13份，氢氧化铝7-13份，硬脂酰胺10-15份。本发明的抛光液性能稳定，抛光效果好，可满足制备纳电子相变存储器中工艺的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 存储器 抛光 | ||
【主权项】：
一种存储器抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质：酸式焦磷酸钠1‑8份，磷酸铝钠8‑16份，表面活性剂1‑7份，有机添加剂1‑3份，调节剂1‑2份，草酸钠8‑10份，除油剂3‑8份，除油粉7‑12份，无水硫酸钠10‑16份，氨水7‑13份，氢氧化铝7‑13份，硬脂酰胺10‑15份。
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