[发明专利]蒸镀源装置在审
| 申请号： | 201410298641.X | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN105200372A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 唐元刚;林成勇 | 申请（专利权）人： | 四川虹视显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 周永宏 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀源装置，包括蒸发舟和空心管道，空心管道均匀地缠绕并紧贴于蒸发舟的外侧，空心管道内通有循环介质，循环介质包括加热循环介质和冷却循环介质。本发明的蒸镀源装置采用循环介质直接加热和冷却的方法，通过迅速通入加热循环介质，能够在非常短的时间内达到蒸镀材料的蒸发温度；通过迅速通入冷却循环介质，可以在蒸镀完成后实现蒸镀舟的迅速降温，节约蒸镀材料，降低蒸镀成本。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀源 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀源装置，其特征在于：包括蒸发舟和空心管道，所述空心管道均匀地缠绕并紧贴于蒸发舟的外侧，所述空心管道内通有循环介质，所述循环介质包括加热循环介质和冷却循环介质。
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