[发明专利]一种基于光学检测的微流控芯片及其制备方法

摘要

本发明涉及一种基于光学检测的微流控芯片及其制备方法。一种基于光学检测的微流控芯片，包括上衬底层、下衬底层、夹层，所述夹层位于两个衬底层的中间，所述夹层设置有样品通道和进样孔，所述样品通道由夹层中穿透的凹槽结构和衬底表面构成；制备方法包括以下步骤第一步在夹层上制备凹槽结构和进样孔，所述凹槽结构穿透夹层；第二步将具有凹槽结构的夹层与上下两个衬底键合在一起，凹槽侧壁和衬底表面构成了样品通道。其有益效果是，所述微流控芯片样品通道的表面平坦光滑，不存在热失配问题；进样孔的设置导致样品通道内产生紊流，提高了检测精度；因此，本发明具有制备工艺简单、高稳定性和高灵敏度检测的特点。

主权项

一种基于光学检测的微流控芯片，包括上衬底层、下衬底层、夹层，所述夹层位于两个衬底层的中间，其特征在于：所述夹层设置有样品通道和进样孔，所述夹层的进样孔的深度小于或等于夹层的厚度，所述上衬底层设置进样孔，所述上衬底层的进样孔与夹层的进样孔连接，所述样品通道由夹层中穿透的凹槽结构和两个衬底层的表面构成；所述夹层、所述上衬底层和所述下衬底层采用同一种材料制备；所述上衬底层和下衬底层表面镀有反射膜，所述反射膜作为光学反射镜，所述样品通道的上下表面构成一个Fabry‑Pérot光学谐振腔，其中谐振腔的腔长等于中间夹层的厚度，所述反射膜为金属膜或介质膜中的一种，所述介质膜的反射膜是通过在两个衬底上交替生长不同折射率的介质薄膜而成。