[发明专利]一种Ag/TiO2纳米复合变色材料制备方法有效
| 申请号： | 201410298799.7 | 申请日： | 2014-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN104120394A | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 左娟;王镇国;陈阿娇 | 申请（专利权）人： | 左娟 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/14;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种Ag/TiO2纳米复合变色材料制备方法，采用活性磁控溅射技术沉积制备Ag纳米颗粒分散在TiO2基质中的纳米复合材料。在一定的活性磁控技术条件下沉积TiO2金属氧化物时，下层的Ag膜由于等离子体中活性氧的作用形成Ag纳米结构，从而形成Ag/TiO2结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ag tio sub 纳米 复合 变色 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种Ag/TiO2纳米复合变色材料制备方法，其特征在于包括以下步骤：步骤一：沉积TiO2膜采用JGP450型磁控溅射镀膜机，该镀膜机配备有2个射频溅射靶，Ag膜的溅射使用99.99％纯度的Ag金属靶，TiO2膜的溅射使用99.9％纯度TiO2烧结多晶靶材，频率为13.56MHz，溅射气体为Ar；首先将真空室抽至1×10‑4pa，溅射气压为0.025mbar，射频溅射功率为50W，玻璃基板用丙酮、乙醇和二次去离子水超声波清洗15min，之后沉积TiO2，TiO2沉积的厚度约为10nm，所述TiO2的沉积条件为室温，射频输出功率(W)为100，真空度(mbar)为0.025，Ar流速(sccm)为8；步骤二：沉积Ag膜于室温下在Ar流量为8sccm下玻璃上沉积30s的Ag膜；步骤三，沉积TiO2膜；将步骤一中沉积了Ag膜的基体上再次沉积TiO2，所沉积的厚度为50‑100nm，所述TiO2的沉积条件为于室温下，射频输出功率(W)为150，真空度(mbar)为0.025，Ar流速(sccm)为7，氧气流速(sccm)为1；制得Ag/TiO2纳米复合变色材料。
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