[发明专利]基于氧化锌的紫外光敏传感器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201410299687.3 申请日: 2014-06-27
公开(公告)号: CN104779314B 公开(公告)日: 2017-02-08
发明(设计)人: 叶柏盈;王雪;王洪吉 申请(专利权)人: 纳米新能源(唐山)有限责任公司
主分类号: H01L31/09 分类号: H01L31/09;G01J1/42;H01L31/0224;H01L31/18;H01L31/0203
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 063000 河北省唐山市*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明提供了一种基于氧化锌的紫外光敏传感器,包括依次层叠设置的基底、叉指电极、粘性导电纤维膜、氧化锌膜;所述叉指电极的两组电极不导通,形成所述紫外光敏传感器的信号输出端;所述粘性导电纤维膜设置在叉指电极一侧表面用于粘附所述氧化锌膜;所述氧化锌膜设置在所述粘性导电纤维膜一侧表面,用于感测紫外光。本发明还提供了一种的基于氧化锌的紫外光敏传感器的制备方法。本发明涉及的紫外光敏传感器性能稳定,同时简化了紫外光敏传感器的制备工艺,具有灵敏度高,响应时间短,制备工艺简单的特点。
搜索关键词: 基于 氧化锌 紫外 光敏 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
一种基于氧化锌的紫外光敏传感器,其特征在于,包括依次层叠设置的基板、叉指电极、粘性导电纤维膜、氧化锌膜;其中,所述叉指电极的两组电极相互不导通,作为所述紫外光敏传感器的信号输出端;所述粘性导电纤维膜设置在所述叉指电极的一侧表面上,用于粘附所述氧化锌膜;所述氧化锌膜设置在所述粘性导电纤维膜一侧表面,用于感测紫外光。
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