[发明专利]排气系统有效
| 申请号： | 201410299903.4 | 申请日： | 2014-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN104275278B | 公开（公告）日： | 2017-12-26 |
| 发明（设计）人： | 堀内展雄 | 申请（专利权）人： | 东丽工程株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京海智友知识产权代理事务所(普通合伙)11455 | 代理人： | 吴京顺,施蕾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种排气系统，能够在短时间内进行排气处理，并且通过抑制涂布液的劣化能够再利用排气处理中排出的涂布液。该排气系统是涂布装置的排气系统，所述涂布装置通过使具有贮存涂布液的歧管和细缝喷嘴的管套部从所述细缝喷嘴排出涂布液的同时进行扫描来在基板上形成涂布膜，在所述管套部上设置有向歧管供给涂布液的涂布液供给孔和通过从所述涂布液供给孔供给涂布液来排出所述歧管内存在的空气的排气孔，所述排气系统包括排气罐，用来贮存从所述排气孔排出的含有空气的涂布液；减压器，对所述排气罐内的压力进行减压。 | ||
| 搜索关键词： | 排气 系统 | ||
【主权项】：
一种排气系统，是涂布装置的排气系统，所述涂布装置通过使具有贮存涂布液的歧管和细缝喷嘴的管套部从所述细缝喷嘴排出涂布液的同时进行扫描来在基板上形成涂布膜，其特征在于，在所述管套部上设置有向歧管供给涂布液的涂布液供给孔、和通过从所述涂布液供给孔供给涂布液来排出所述歧管内存在的空气的排气孔，所述排气系统包括：排气罐，用来贮存从所述排气孔排出的含有空气的涂布液；减压器，对所述排气罐内的压力进行减压，且，设置有连接所述排气罐和用于向所述管套部供给涂布液的涂布液供给用泵的配管，在所述配管上设置有用于控制所述排气罐和所述涂布液供给用泵的连接状态的阀。
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