[发明专利]一种制备大规格ITO靶材的方法

摘要

一种制备大规格ITO靶材的方法，本发明通过采用机械加压方式将较高固含量、粘度较低、悬浮性能好的ITO浆料（4）通过微孔模具（5），在逐步升压、保压的过程中排除浆料中大部分水分而成型，成型出的坯体规格大、密度高、强度高、可近净尺寸均匀成型，坯体经过干燥和脱脂后，在常压氧气氛炉中进行烧结，可得到大规格、高密度的ITO靶材，本发明有效的克服了干压成型坯体密度不均匀，难于压制大规格坯体，以及石膏模注浆成型时间较长，成型坯体密度偏低、坯体易分层，且烧结条件较高的技术问题。

主权项

一种制备大规格ITO靶材的方法，其特征是：所述制备方法具体包括如下步骤：第一步、制备ITO浆料：首先取ITO粉体或氧化铟和氧化锡的混合物，以去离子水为溶剂，在溶剂中加入有机分散剂，然后将ITO粉体或氧化铟和氧化锡的混合物与配置的含有机分散剂的溶剂一同进行球磨，制备出高固含量、较低粘度和悬浮性能好的ITO浆料（4）；     第二步、接上步，制备大规格ITO靶材坯体：首先利用机械加压方式将第一步获得的高固含量、较低粘度、悬浮性能好的ITO浆料（4）通过微孔模具（5）压滤，然后压滤设备逐步对ITO浆料（4）加压和保压，排除ITO浆料（4）中的水分进而获得大规格的ITO靶材坯体； 第三步、接上步，对上步获得的ITO靶材坯体进行干燥、脱脂及烧结，首先将ITO靶材坯体经20～30℃干燥2～4天，80～150℃进一步干燥2～3天，600～900℃脱脂10～30h，1520～1650℃氧气氛烧结后，得到大规格、高密度的大规格ITO靶材。