[发明专利]物理量传感器有效
| 申请号： | 201410305822.0 | 申请日： | 2014-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN104280182B | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 矢泽久幸;菊入胜也;高桥亨 | 申请（专利权）人： | 阿尔卑斯电气株式会社 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 张莉 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种探测精度优异的、利用压阻效应来探测物理量的物理量传感器。为此，本发明的物理量传感器(1)利用压阻效应来探测物理量，所述物理量传感器(1)的特征在于，具有：第1导电型的阱层(4)，其形成在第1绝缘层(10)上；多个第2导电型的压阻层(2)，其形成在第1导电型的阱层(4)的表面侧；和第2导电型的分离层(5)，其在多个第2导电型的压阻层(2)之间，从第1导电型的阱层(4)的表面贯通至第1绝缘层(10)的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 | ||
【主权项】：
一种物理量传感器，其利用压阻效应来探测物理量，所述物理量传感器的特征在于，具有：第1导电型的阱层，其形成在第1绝缘层上；和多个第2导电型的压阻层，其形成在所述第1导电型的阱层的表面侧，在所述多个第2导电型的压阻层之间，具有从所述第1导电型的阱层的表面贯通至所述第1绝缘层的表面的第2导电型的分离层。
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