[发明专利]一种用保鲜膜转移导电膜的方法有效
| 申请号： | 201410305826.9 | 申请日： | 2014-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN104064504A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 赵志新;尹丽媛;步玲玲;周印华 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 方放 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用保鲜膜转移导电膜的方法。在干净的基片上覆盖一层第一醇类溶剂，将保鲜膜在基片上展开；待第一醇类溶剂挥发完全后，在保鲜膜上涂覆一层水溶性导电材料，得到导电膜，待导电膜干燥，以防止导电膜中的水对目标基底上的下层材料造成影响；用第二醇类溶剂将导电膜润湿，促使导电膜与保鲜膜分离，当导电膜的边缘与保鲜膜能分离时，将保鲜膜与导电膜一并从基片上揭下；将覆有导电膜的保鲜膜铺展在目标基底上，使导电膜与目标基底表面紧密贴合，揭掉上层保鲜膜，将导电膜转移至目标基底上。易于形成流水线的生产模式，节约资源，成本低，且转移后的导电膜导电性能更优，能有效提高太阳能电池的光电转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 保鲜膜 转移 导电 方法 | ||
【主权项】：
一种转移导电膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)在干净的基片上覆盖一层第一醇类溶剂，将保鲜膜在基片上展开；(2)待第一醇类溶剂挥发完全后，在保鲜膜上涂覆一层水溶性导电材料，得到导电膜，待导电膜干燥，以防止导电膜中的水对目标基底上的下层材料造成影响；(3)用第二醇类溶剂将导电膜润湿，促使导电膜与保鲜膜分离，当导电膜的边缘与保鲜膜能分离时，将保鲜膜与导电膜一并从基片上揭下；(4)将覆有导电膜的保鲜膜铺展在目标基底上，使导电膜与目标基底表面紧密贴合，揭掉上层保鲜膜，将导电膜转移至目标基底上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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