[发明专利]酸性蚀刻液电解多组分添加剂有效
申请号: | 201410309155.3 | 申请日: | 2014-07-02 |
公开(公告)号: | CN104152944B | 公开(公告)日: | 2017-04-26 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 深圳市新锐思环保科技有限公司 |
主分类号: | C25C1/12 | 分类号: | C25C1/12 |
代理公司: | 深圳市神州联合知识产权代理事务所(普通合伙)44324 | 代理人: | 周松强 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种酸性蚀刻液电解多组分添加剂,由以下成份按照质量配比组成光亮剂和整平剂1~3%;表面活性剂5~10%;溶剂87~96%。本发明提供的添加剂,在光亮剂和整平剂协同作用下,能显著增大阴极铜极化作用,通过吸附作用阻化铜电沉积过程,影响铜晶体生长,使铜电积层晶粒显著细化,同时电解液分散能力增大,降低低电流区电阻,帮助低电流区的铜增长,改善低电流区的光亮度和平整性;而表面活性剂降低金属基体的表面张力,使添加剂易于吸附,且增加溶液分散性,溶液分布均匀,减少阴极铜分支及颗粒凸点产生。因此,在添加剂的光亮剂和整平剂以及表面活性剂的作用下,产生的阴极铜成板状、光亮性好、结构致密平整,纯度高。 | ||
搜索关键词: | 酸性 蚀刻 电解 组分 添加剂 | ||
【主权项】:
一种酸性蚀刻液电解多组分添加剂,其特征在于,由光亮剂、整平剂、表面活性剂以及溶剂组成;所述光亮剂和整平剂为N,N‑二甲基二硫代甲酰胺丙烷磺酸钠和氨基三乙醇的组合,所述表面活性剂为壬基酚聚氧乙烯醚,所述溶剂为纯水;该添加剂由以下成份按照质量配比组成:
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