[发明专利]一种铜镀层性能测试条的制作方法在审

专利信息
申请号: 201410310513.2 申请日: 2014-07-01
公开(公告)号: CN104111187A 公开(公告)日: 2014-10-22
发明(设计)人: 王宝成;郭金金;张文晗;薛晓卫 申请(专利权)人: 中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 徐文权
地址: 710068 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种铜镀层性能测试条的制作方法,包括以下步骤:1)选取基板,再对基板进行除油,然后给除油后的基板1表面镀厚度为50-100μm的铜层;2)采用正像作图的方法在铜层上制作条状待镀图形,再给所述条状待镀图形上电镀锡层,将锡层作为碱性蚀刻过程中的抗蚀层;3)通过氢氧化钠溶液除去基板上的条状待镀图形,再采用碱性蚀刻的方法对基板上的铜层进行蚀刻,并用稀硝酸溶液除去基板上的锡层,使铜镀层性能测试条出现在基板上,然后再通过刀片将基板与铜镀层性能测试条分离,得铜镀层性能测试条。本发明可以制作出厚度均匀的铜镀层性能测试条。
搜索关键词: 一种 镀层 性能 测试 制作方法
【主权项】:
一种铜镀层性能测试条的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:1)选取基板(1),再对基板(1)进行除油,然后给除油后的基板(1)表面镀厚度为50‑100μm的铜层(2);2)采用正像作图的方法在铜层(2)上制作条状待镀图形(3),再给所述条状待镀图形(3)上电镀锡层(4),将锡层(4)作为碱性蚀刻过程中的抗蚀层;3)通过氢氧化钠溶液除去基板(1)上的条状待镀图形(3),再采用碱性蚀刻的方法对基板(1)上的铜层(2)进行蚀刻,并用稀硝酸溶液除去基板(1)上的锡层(4),使铜镀层性能测试条(5)出现在基板(1)上,然后再通过刀片将基板(1)与铜镀层性能测试条(5)分离,得铜镀层性能测试条(5)。
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