[发明专利]一种三叶像差变形镜装置有效
| 申请号： | 201410311299.2 | 申请日： | 2014-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN104076616A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 隋永新;赵磊;刘震宇;谢军;杨怀江;张巍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种三叶像差变形镜装置属于光学系统的系统像差补偿领域，目的在于解决现有技术存在的安装检测困难和引入刚体位移大的问题。本发明包括光学元件、可变形镜框、六个致动器、六个位移传感器、上固定板和下固定板；光学元件与可变形镜框之间通过胶粘或压紧的方式连成镜框组件，上固定板和下固定板分别通过螺钉固定在可变形镜框上，上固定板上设置有三个周向120°分布的致动器，下固定板上设置有三个周向120°分布的致动器，上固定板和下固定板上的六个致动器周向60°分布，致动器沿光学元件的光轴方向设置，输入位移垂直作用在可变形镜框上；六个位移传感器分别设置在上固定板和下固定板上，与六个致动器相对。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三叶像差 变形 装置 | ||
【主权项】：
一种三叶像差变形镜装置，包括光学元件(1)和可变形镜框(2)，其特征在于，还包括六个致动器(3)、六个位移传感器(4)、上固定板(6)和下固定板(5)；所述光学元件(1)与可变形镜框(2)之间通过胶粘或压紧的方式组成镜框组件，所述上固定板(6)和下固定板(5)分别通过螺钉固定在可变形镜框(2)上，所述上固定板(6)上设置有三个周向120°分布的致动器(3)，所述下固定板(5)上设置有三个周向120°分布的致动器(3)，所述上固定板(6)和下固定板(5)上的六个致动器(3)周向60°分布，所述致动器(3)沿光学元件(1)的光轴方向设置，输入位移垂直作用在可变形镜框(2)上；所述六个位移传感器(4)分别设置在上固定板(6)和下固定板(5)上，与所述六个致动器(3)相对。
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