[发明专利]一种带有内部水冷单晶炉用涂层热屏在审
| 申请号： | 201410311347.8 | 申请日： | 2014-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN105316759A | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 徐建 | 申请（专利权）人： | 安徽旭特电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 239400 安徽省滁州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带有内部水冷单晶炉用涂层热屏，它包括外热屏、内热屏和保温层。所述外热屏、内热屏和保温层以炉热屏中心轴为中心均匀设置；所述炉热屏由外向内设有外热屏、保温层和内热屏；所述内热屏的中心位置设有冷却管道；所述冷却管道贯穿整个保温层且在炉热屏的顶端两侧位置分别设有冷却水管入口和冷却水管出口。本发明单晶炉用涂层热屏具有操作简单、使用方便和控温效果好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 内部 水冷 单晶炉用 涂层 | ||
【主权项】：
一种带有内部水冷单晶炉用涂层热屏，它包括外热屏、内热屏和保温层，其特征在于：所述外热屏、内热屏和保温层以炉热屏中心轴为中心均匀设置；所述炉热屏由外向内设有外热屏、保温层和内热屏；所述内热屏的中心位置设有冷却管道；所述冷却管道贯穿整个保温层且在炉热屏的顶端两侧位置分别设有冷却水管入口和冷却水管出口。
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