[发明专利]一种用产品料直接拉制硅芯的方法在审

专利信息
申请号: 201410311486.0 申请日: 2014-07-02
公开(公告)号: CN104264220A 公开(公告)日: 2015-01-07
发明(设计)人: 刘朝轩;王晨光;史优才 申请(专利权)人: 洛阳金诺机械工程有限公司
主分类号: C30B28/10 分类号: C30B28/10;C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 471000 河南省*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 一种用产品料直接拉制硅芯的方法,涉及人工晶体领域,本发明通过选用直径为¢110~¢160mm的产品料作为硅芯拉制的原料棒,其中直径为¢110~¢160mm的产品料在还原炉内生长时,由于其充分利用了晶棒的快速生长期,有效的降低了原料棒的成本,同时本发明中产品料棒在还原炉内生长时无需降低进料和沉积速度,有效的降低了晶棒的生长周期,本发明具有生产成本低,生产效率高等特点。
搜索关键词: 一种 产品 直接 拉制 方法
【主权项】:
一种用产品料直接拉制硅芯的方法,其特征是:所述方法具体包括如下步骤:一、制备产品料棒:首先将竖硅芯两两一组插到还原炉的电极内,进一步用横硅芯将每两个竖硅芯连接在一起使两个竖硅芯和一个横硅芯形成一个闭合回路,进一步对电极通电并往炉体内通入还原气体,此时炉体内的还原气体会不断的吸附到硅芯的表面形成所需直径和致密度的¢110~¢160mm产品料棒;二、产品料棒修整:接上步,对第一步获取的产品料棒进行切割得到设定长度的产品料棒,进一步对产品料棒进行酸洗和清洗,然后对产品料棒的上端头进行修整,获取产品料棒上端的平面;三、产品料棒的拉制准备:接上步,将大直径的高频线圈安装在硅芯炉内的高频线圈固定机构上,然后将第二步获取的产品料棒固定在下轴上,启动下轴升降机构使所述产品料棒上端接近但不接触高频线圈的下部;然后对高频线圈进行通水通电,利用高频线圈对产品料棒上端面进行感应加热;四、硅芯拉制:接上步,待产品料棒的上端头靠近高频线圈下面的部位融化并且对应高频线圈拉制孔形成融区后,籽晶夹头带着籽晶缓慢下降,使籽晶穿过高频线圈上的拉制孔并插入到产品料棒端头的小融区内,所述籽晶的端头与产品料棒端头的融液融为一体后,通过籽晶夹头将籽晶向上缓慢拉起,此时产品料棒上部的融液会跟随籽晶上升,其产品料棒下部的下轴也相应跟随同步缓慢上升,此时跟随籽晶提起的融液在通过高频线圈的拉制孔后,由于磁力线的减弱而冷凝获取硅芯。
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