[发明专利]凸双曲面Hindle检测中的高精度几何量测量方法

摘要

凸双曲面Hindle检测中的高精度几何量测量方法，涉及非球面检测领域，解决了现有方法存在的精度低、重复性差、不准确的问题。该方法为调整干涉仪、Hindle球反射镜和凸双曲面对凸双曲面干涉检测，使面形误差均方根值最小；将激光跟踪仪靶标球放在凸双曲面外焦点，对其表面干涉检测，并将倾斜和离焦调至最小，测量其空间坐标；采用激光跟踪仪测量凸双曲面表面特征；移开凸双曲面，对Hindle球反射镜干涉检测，并将倾斜和离焦调至最小；将激光跟踪仪靶标球放在凸双曲面内焦点，对其表面干涉检测，并将倾斜和离焦调至最小，测量其空间坐标；构建检测光轴直线和间隔计算出几何量。本发明测量精度约为0.05mm，精度高，重复性好。

主权项

凸双曲面Hindle检测中的高精度几何量测量方法，其特征在于，该方法由以下步骤实现：步骤一、调整第一干涉仪(1)、Hindle球反射镜(3)和凸双曲面(4)的相对位置和角度，使第一干涉仪(1)对凸双曲面(4)进行干涉检测，继续调整第一干涉仪(1)和凸双曲面(4)使面形误差的均方根值最小；步骤一中，所述调整第一干涉仪(1)、Hindle球反射镜(3)和凸双曲面(4)的相对位置和角度，指的是调整第一干涉仪(1)使其发出的检测光经过Hindle球反射镜(3)的中心孔后覆盖凸双曲面(4)的整个孔径，调整Hindle球反射镜(3)使得检测光返回至第一干涉仪(1)的视场内并形成干涉条纹，实现对凸双曲面(4)面形的干涉检测；步骤二、将激光跟踪仪(2)的靶标球放置在凸双曲面(4)的外焦点(5)处，调整靶标球使第一干涉仪(1)对靶标球表面进行干涉检测，并将检测结果中的倾斜和离焦调整至最小，同时采用激光跟踪仪(2)测量此时靶标球的空间坐标；步骤三、采用激光跟踪仪(2)测量凸双曲面(4)的表面特征；步骤四、移开凸双曲面(4)，调整第二干涉仪(7)对Hindle球反射镜(3)进行干涉检测，并将检测结果中的倾斜和离焦调整至最小；步骤五、将激光跟踪仪(2)的靶标球放置在凸双曲面(4)的内焦点(6)处，调整靶标球使第二干涉仪(7)对靶标球表面进行干涉检测，并将检测结果中的倾斜和离焦调整至最小，同时采用激光跟踪仪(2)测量此时靶标球的空间坐标；步骤六、根据步骤二、三、五中的测量结果，利用激光跟踪仪(2)中的软件构建检测光轴直线和间隔，计算出顶点曲率半径R和二次常数K。