[发明专利]一种高精度方形平板光学元件抛光用夹具

摘要

一种高精度方形平板光学元件抛光用夹具属于机械夹具技术领域，目的在于解决现有技术中存在的引入较大变形误差影响光学元件面形测量精度的问题。本发明包括弹性垫层、支承座、固定底座和夹紧挡块；支承座包括上下设置的方形平台和圆形平台，方形平台与光学元件接触面形状相同，尺寸小于光学元件尺寸；支承座的圆形平台下表面与固定底座通过螺钉连接，弹性垫层通过胶粘方式固定在方形平台上；光学元件放置在弹性垫层上，通过侧面均布的多个夹紧挡块实现对光学元件的固定。本发明的夹具的弹性垫层厚度较薄，硬度适中，装调过程中经过表面修整，具有较高精度的平面度和垂直度；光学元件在面形检测过程中避免了引入较大的变形误差，保证面形测量精度。

主权项

一种高精度方形平板光学元件抛光用夹具，其特征在于，包括弹性垫层(4)、支承座(3)、固定底座(6)和夹紧挡块(5)；所述支承座(3)包括上下设置的方形平台(301)和圆形平台(302)，所述方形平台(301)与光学元件(1)接触面形状相同，尺寸小于光学元件(1)尺寸；所述支承座(3)的圆形平台(302)下表面与固定底座(6)通过螺钉连接，所述弹性垫层(4)通过胶粘方式固定在所述方形平台(301)上；所述光学元件(1)放置在所述弹性垫层(4)上，通过侧面均布的多个夹紧挡块(5)实现对光学元件(1)的固定。