[发明专利]一种光学玻璃亚表面缺陷检测方法有效
| 申请号： | 201410312808.3 | 申请日： | 2014-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN104089963B | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | 张春雷;马占龙;王绍治;刘健;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种光学玻璃亚表面缺陷检测方法，其步骤为：采用沥青或者聚氨酯抛光方式制备亚表面缺陷玻璃样品；合理确定样品采样点，以全面评价样品亚表面缺陷；根据采样点制作去除区域为规则形状的去除函数，与驻留时间卷积获得规则形状的若干采样区域；利用上述去除函数和离子束加工对采样区域进行不同深度均匀去除；使用表面形貌观察设备对采样区域进行观测，获得光学玻璃亚表面缺陷形貌。本发明采用离子束加工对光学玻璃全视场内不同采样点表面水解层进行去除，使用表面微观形貌检测设备对其进行观测；本发明具有原理简单，测量结果准确直观等特点，避免了使用氢氟酸，是一种安全有效的亚表面缺陷测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学玻璃 表面 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种光学玻璃亚表面缺陷检测方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤i：采用沥青或者聚氨酯抛光方式制备亚表面缺陷玻璃样品；步骤ii：合理确定样品采样点，以全面评价样品亚表面缺陷；步骤iii：根据采样点制作去除区域为规则形状的去除函数，与驻留时间卷积获得规则形状的若干采样区域；步骤iv：利用上述去除函数和离子束加工对采样区域进行不同深度均匀去除；步骤v：使用表面形貌观察设备对采样区域进行观测，获得光学玻璃亚表面缺陷形貌。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410312808.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
