[发明专利]电容位移传感器标定装置

摘要

本发明公开了一种电容位移传感器标定装置，属于传感器标定技术领域。解决了现有技术中电容位移传感器标定装置标定精度低的技术问题。该标定装置包括电容位移机构和干涉仪机构；所述电容位移机构包括标定台基座、标定台支撑架、传感器支撑架、驱动器、标定台静平台、铰链、标定台动平台、测量角反射镜、导光元件支撑架、导光元件固定座、参考角反射镜、分光镜、传感器固定座、电容传感器、被测面板和驱动器推杆；所述干涉仪机构包括单轴激光干涉仪、干涉仪调节底座、干涉仪支撑架和干涉仪底座。本发明的装置提高了现有电容位移传感器标定装置安装传感器时传感面和被测面之间的平行度精度，减小了装调引入的测量误差，提高传感器标定精度。

主权项

电容位移传感器标定装置，其特征在于，包括电容位移机构和干涉仪机构；所述电容位移机构包括标定台基座(1)、标定台支撑架(2)、传感器支撑架(3)、驱动器(4)、标定台静平台(5)、铰链(6)、标定台动平台(7)、测量单元、传感器固定座(13)、电容传感器(14)、被测面板(15)和驱动器推杆(16)；所述标定台支撑架(2)至少为三个，所有标定台支撑架(2)的底端均固定在标定台基座(1)上；所述传感器支撑架(3)的底端固定在标定台基座(1)上；所述传感器固定座(13)固定在传感器支撑架(3)上；所述电容传感器(14)固定在传感器固定座(13)上，电容传感器(14)测量电容传感器(14)与被测面板(15)之间的位移变化量；所述标定台静平台(5)固定在所有标定台支撑架(2)的顶端并通过传感器支撑架导向孔(5‑2)套装在传感器支撑架(3)外；所述铰链(6)至少为三个，所有铰链(6)的底端均固定在标定台静平台(5)的顶面上，所有铰链(6)的顶端均固定在标定台动平台(7)的底面上；所述标定台动平台(7)通过传感器导向孔(7‑1)套装在电容传感器(14)外；所述驱动器(4)、驱动器推杆(16)和铰链(6)三者一一对应，驱动器(4)的顶端均固定在标定台静平台(5)的底面上，驱动器推杆(16)固定在驱动器(4)的顶端，并通过驱动器推杆导向孔(5‑4)穿过标定台静平台(5)，驱动器(4)通过驱动器推杆(16)推动铰链(6)移动，铰链(6)带动标定台动平台(7)移动；所述被测面板(15)固定在标定台动平台(7)的顶面上，且位于电容传感器(14)的上方，被测面板(15)所在平面与电容传感器(14)的传感面平行；所述测量单元至少为三个，每个测量单元包括测量角反射镜(8)、导光元件支撑架(9)、导光元件固定座(10)、参考角反射镜(11)和分光镜(12)，所述测量角反射镜(8)固定在标定台动平台(7)的顶面上，所述导光元件支撑架(9)的底端固定在标定台静平台(5)的顶面上，所述导光元件固定座(10)的一端固定在导光元件支撑架(9)上，所述参考角反射镜(11)和分光镜(12)依次固定在导光元件固定座(10)的另一端，且分光镜(12)位于测量角反射镜(8)的上方，分光镜(12)与测量角反射镜(8)同光轴，且该光轴方向垂直于电容传感器(14)的传感面；所述干涉仪机构包括干涉仪底座(20)和干涉仪单元；所述干涉仪单元至少为三个且与测量单元一一对应，每个干涉仪单元包括单轴激光干涉仪(17)、干涉仪调节底座(18)和干涉仪支撑架(19)；所述干涉仪支撑架(19)的底端固定在干涉仪底座(20)上；所述干涉仪调节底座(18)固定在干涉仪支撑架(19)的顶端；所述单轴激光干涉仪(17)固定在干涉仪调节底座(18)上，单轴激光干涉仪(17)、分光镜(12)和参考角反射镜(11)同光轴，且该光轴方向平行于电容传感器(14)的传感面，单轴激光干涉仪(17)发出的激光经分光镜(12)分成相互垂直的参考光和测量光，参考光经参考角反射镜(11)反射回分光镜(12)，并经分光镜(12)透射回单轴激光干涉仪(17)，测量光经测量角反射镜(8)反射回分光镜(12)，并经分光镜(12)反射回单轴激光干涉仪(17)。