[发明专利]一种光学材料亚表面损伤层深度及形貌测量方法有效
| 申请号： | 201410315052.8 | 申请日： | 2014-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN104061853A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 田爱玲;王春慧;田玉珺;王红军;朱学亮;刘丙才 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01B7/26 | 分类号： | G01B7/26;G01B7/06;G01B11/24 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学精密测量技术领域，特别是一种亚表面损伤层厚度的测量方法，首先将样品装夹在匀速运动的装夹机构上，控制装夹机构使样品浸入HF酸溶液，直到样品完全没入溶液；迅速从溶液提出样品，并使用探针式轮廓仪测量腐蚀后的剖面，得到裂纹纵深方向和样品竖直运动方向的轮廓曲线；由曲线上取得数据开始趋向平稳变化的临界点或极点，及测量过程中记录下的起始点，求得这两点之间的高度差或投影在原有表面两点的高度差，即样品亚表面损伤层深度D；利用光学显微镜对腐蚀后的平面进行三维形貌观察。采用本发明方法简单、快捷、准确，可以同时测得亚表面层深度和三维形貌，测试精度高，成本低，直观性强，对测试设备要求低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学材料 表面 损伤 深度 形貌 测量方法 | ||
【主权项】：
一种光学材料亚表面损伤层深度及形貌的测量方法，该方法通过控制样件在HF酸溶液中沿竖直方向缓慢匀速地运动，利用HF酸对样品进行连续腐蚀，使得样品不同位置层面的腐蚀程度连续变化，得到腐蚀后的剖切面；用探针式轮廓仪对腐蚀后的剖切面进行扫描，根据表面轮廓的变化趋势分析得到光学材料亚表面损伤层深度。
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