[发明专利]垂直型LED的制作方法有效
| 申请号： | 201410318634.1 | 申请日： | 2014-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN104064642B | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 张宇;童玲;张琼;吕孟岩;张楠 | 申请（专利权）人： | 映瑞光电科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/14 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种垂直型LED的制作方法，刻蚀现有的未掺杂层作为电流阻挡层，无需额外形成绝缘介质层，减少了工艺步骤，降低生产成本，同时，形成的电流阻挡层能够在大电流下提高垂直型LED的电流扩展，使电流分布均匀，从而提高垂直型LED的发光强度。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 led 制作方法 | ||
【主权项】：
一种垂直型LED的制作方法，包括步骤：提供生长衬底，在所述生长衬底上形成有外延层，所述外延层包括未掺杂层；在所述外延层表面依次形成金属电极和键合衬底；剥离所述生长衬底，暴露出所述未掺杂层；刻蚀所述未掺杂层，保留部分未掺杂层作为电流阻挡层；形成N电极，所述N电极覆盖所述保留的未掺杂层，并且与所述外延层形成欧姆接触。
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