[发明专利]一种高质量单双层可控的二硫化钼制备方法有效
申请号: | 201410320352.5 | 申请日: | 2014-07-07 |
公开(公告)号: | CN104058458B | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 廖源;周献亮;周朝迅;董振超 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | C01G39/06 | 分类号: | C01G39/06 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 贺卫国 |
地址: | 230026 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及一种层状二硫化钼制备方法,所述层状二硫化钼为单层或双层结构,其中采用化学气相沉积法,以单质的钼金属和硫粉做为源,在基底表面沉积二维二硫化钼,其中通过对沉积温度、生长时间等制备参数的优化,实现对高质量二硫化钼单层或双层结构的控制生长。 | ||
搜索关键词: | 一种 质量 双层 可控 二硫化钼 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种层状二硫化钼制备方法,所述层状二硫化钼为单层的,其中采用化学气相沉积法,以单质的钼金属和硫粉做为源,在基底表面沉积二维二硫化钼,其中将沉积时的温度控制为:800℃至850℃,并且沉积时间控制为5至30分钟。
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