[发明专利]一种机械手及真空反应设备

摘要

本发明公开了一种机械手及真空反应设备，涉及半导体制造设备技术领域，为解决真空反应设备的生产效率低的问题。所述机械手包括旋转轴，与所述旋转轴固定连接的第一支撑板，滑动安装在所述第一支撑板上的第一连接板，与所述第一连接板固定连接的两个第二支撑板，每个第二支撑板上对应的设有一个第二连接板，每个所述第二连接板可在水平面内转动，每个第二连接板上设有一个手臂，每个手臂包括用于托持板状产品的数个分支，所述数个分支滑动安装在对应的所述第二连接板上，并可相对该第二连接板进行同步水平移动。所述真空反应设备包括上述技术方案所提的至少一个机械手。本发明提供的机械手用于提高真空反应设备的生产效率。

主权项

一种机械手，安装在真空反应设备的传送腔室中，其特征在于，包括：竖直设置的旋转轴；固定安装在所述旋转轴上的第一支撑板，所述第一支撑板可在所述旋转轴的带动下绕所述旋转轴转动和在竖直方向做升降运动；滑动安装在所述第一支撑板上、可相对所述第一支撑板进行水平移动的第一连接板；固定安装在所述第一连接板上的两个第二支撑板，所述两个第二支撑板相对设置，且两个所述第二支撑板分别在水平面内的投影重合；与所述两个第二支撑板一一对应的两个第二连接板，每个所述第二连接板位于对应的所述第二支撑板的上方，每个所述第二连接板的中心通过一个枢转件与对应的所述第二支撑板枢接，每个所述第二连接板可绕所述枢转件在水平面内转动；与两个所述第二连接板一一对应的两个手臂，每个所述手臂包括用于托持板状产品的数个分支，所述数个分支滑动安装在对应的所述第二连接板上，并可相对该第二连接板进行同步水平移动。