[发明专利]金属膜光学检测装置和检测方法有效

专利信息
申请号: 201410321113.1 申请日: 2014-07-07
公开(公告)号: CN104089582B 公开(公告)日: 2017-03-15
发明(设计)人: 柴立;张正义;陈一翔 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06;G01N21/84
代理公司: 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 代理人: 吴大建,刘华联
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及金属膜光学检测装置和检测方法。该装置包括承载器,在承载器的第一位置设置有斜朝向金属膜和基板的光源,在承载器的第二位置设置有接受来自金属膜或基板的反射光束的光敏感应器,处理来自光敏感应器的光信号的分析单元。分析单元根据入射光束与承载器之间的夹角、对应于金属膜的第一反射光斑与光源之间的第一长度、对应于基板的第二反射光斑与光源之间的第二长度而得到金属膜的厚度。使用这种金属膜光学检测装置能够以不与金属膜接触的方式测量金属膜的厚度,测量精度高。
搜索关键词: 金属膜 光学 检测 装置 方法
【主权项】:
一种金属膜光学检测装置,包括承载器,在所述承载器的第一位置设置有斜朝向金属膜和基板发射入射光束的光源,在所述承载器的第二位置设置有接受来自所述金属膜或基板的反射光束的光敏感应器,处理来自所述光敏感应器的光信号的分析单元,其中,所述分析单元根据所述入射光束与承载器之间的夹角、对应于金属膜的第一反射光斑与光源之间的第一长度、对应于基板的第二反射光斑与光源之间的第二长度而得到所述金属膜的厚度,所述夹角包括第一夹角和第二夹角,所述光源以第一夹角向所述金属膜发出入射光束,所述光敏感应器接受反射光束,所述分析单元计算出第一长度,并根据第一长度和第一夹角得到所述金属膜与所述承载器之间的第一距离;所述光源以第二夹角向所述基板发出入射光束,所述光敏感应器接受反射光束,所述分析单元计算出第二长度,并根据第二长度和第二夹角得到基板与所述承载器之间的第二距离;所述金属膜的厚度为第二距离与第一距离之间的差值。
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