[发明专利]带电粒子束系统及操作带电粒子束系统的方法有效
| 申请号： | 201410323934.9 | 申请日： | 2014-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN104282515B | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | J.A.诺特四世;A.格罗霍尔斯基;R.康纳斯;M.D.迪马纳;R.希尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及带电粒子束系统和操作带电粒子束系统的方法。该带电粒子束系统包括惰性气体场离子束源、带电粒子束柱和壳体，壳体限定第一真空区域和第二真空区域。惰性气体场离子束源布置在第一真空区域内。第一机械真空泵功能上附接至第一真空区域，离子吸气泵附接至带电粒子束柱，气体供应器附接至第一真空区域，构造成给惰性气体场离子束源供应惰性气体。 | ||
| 搜索关键词： | 带电粒子束系统 真空区域 惰性气体 离子束源 附接 带电粒子束 壳体 供应惰性气体 机械真空泵 离子吸气泵 气体供应器 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束系统，包括：惰性气体场离子束源；带电粒子束柱；限定第一真空区域、第二真空区域和第三真空区域的壳体；第一压力限制孔，布置在所述第一真空区域与所述第二真空区域之间；第二压力限制孔，布置在所述第二真空区域与所述第三真空区域之间，其中，所述惰性气体场离子束源布置在所述第一真空区域内；第一机械真空泵，功能上附接至所述第一真空区域；离子吸气泵，附接至所述第二真空区域，其中所述第二真空区域布置在所述带电粒子束柱内，其中所述离子吸气泵为附接至所述第二真空区域的唯一泵；以及气体供应器，附接至所述第一真空区域，构造成将惰性气体供应至所述惰性气体场离子束源。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司，未经卡尔蔡司显微镜有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410323934.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：锤钻
- 下一篇：具有微带谐振器的等离子体产生装置
