[发明专利]一种介电-压电复合薄膜移相器有效
| 申请号： | 201410324263.8 | 申请日： | 2014-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN104078725B | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 周静;吴智;陈文;沈杰;胡麟;吕纯 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | H01P1/18 | 分类号： | H01P1/18 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司42102 | 代理人： | 乔宇 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于微波工程技术领域，具体的说是涉及一种介电‑压电复合薄膜移相器,它包括介质基底、条形驱动电极、压电薄膜、介电薄膜以及叉指式共面波导传输线，所述条形驱动电极设在介质基底上，压电薄膜沉积在条形驱动电极上，介电薄膜沉积于压电薄膜上，叉指式共面波导传输线沉积在介电薄膜上。该移相器通过压电薄膜的逆压电效应控制介电薄膜的尺寸，从而达到移相的目的。通过介电压电薄膜的复合，可降低移相器在微波段的损耗，并具有工艺简单，尺寸小，损耗小，驱动电压小，性能稳定等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 复合 薄膜 移相器 | ||
【主权项】：
一种介电‑压电复合薄膜移相器，其特征在于：它包括介质基底、条形驱动电极、压电薄膜、介电薄膜以及叉指式共面波导传输线，所述条形驱动电极设在介质基底上，压电薄膜沉积在条形驱动电极上，介电薄膜沉积于压电薄膜上，叉指式共面波导传输线沉积在介电薄膜上，所述移相器是通过条形驱动电极给压电薄膜施加电压，利用逆压电效应来改变介电薄膜的尺寸，从而达到移相的目的。
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