[发明专利]一种电化学微加工电极的制备方法及制备装置

摘要

一种电化学微加工电极的制备方法，将导电针尖置于电沉积溶液中，采用交流电沉积方法在导电针尖上电沉积生长金属纳米线，在生长过程中按预定的提拉速度将导电针尖缓慢提拉出液面，获得生长方向与导电针尖方向一致的纳米线圆柱电极。一种用于实施所述方法的制备装置，包括：盛有电镀液的电镀槽，其中设置有对电极；固定于位移台上的导电针尖，与对电极相对安置；信号发生器，在导电针尖与对对电极之间施加交流电信号，在导电针尖上电沉积生长纳米线；其中位移台在电沉积生长过程中按预定的提拉速度将导电针尖缓慢提拉出液面。本发明可迅速、经济地实现纳米级尺寸的电化学微加工用圆柱电极的制备，并可进行批量生产。

主权项

一种电化学微加工电极的制备方法，其特征在于，将导电针尖置于电沉积溶液中，采用交流电沉积方法在所述导电针尖上电沉积生长金属纳米线，在生长过程中按预定的提拉速度将所述导电针尖缓慢提拉出液面，获得生长方向与所述导电针尖方向一致的纳米线圆柱电极。