[发明专利]一种用于单晶硅表面织构化的制绒液及其制备方法无效
| 申请号： | 201410327165.X | 申请日： | 2014-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN104120495A | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 吴蓁;王靖雯;顾顺超;郭青;张英强 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术学院 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根;马文峰 |
| 地址： | 200235 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于单晶硅表面织构化的制绒液及制备方法，所述制绒液即在碱性腐蚀液中加入酸类及表面活性剂混合并搅拌均匀而得；所述碱性腐蚀液为质量百分比浓度为1.5%的氢氧化钾水溶液；所述酸类为硼酸、丁二酸、乙二酸、草酸、酒石酸、丙烯酸中一种或两种以上的混合酸，其加入量按质量比计算即酸类：碱性腐蚀液为0.01-0.1：100；所述表面活性剂为乙醇、甲基纤维素、十二烷基磺酸钠、聚乙二醇400、明胶、山梨醇中一种或两种以上混合而成；其加入量按质量比计算即表面活性剂：碱性腐蚀液为0.1-7.5：100。经该制绒液制绒后所得的单晶硅绒面“金字塔”细小密集，硅片无挂碱，白斑等现象，制绒重现性好，反射率低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶硅 表面 织构化 制绒液 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于单晶硅表面织构化的制绒液，其特征在于所述的用于单晶硅表面织构化的制绒液，即在碱性腐蚀液中加入酸类及表面活性剂混合并搅拌均匀所得；所述的碱性腐蚀液为质量百分比浓度为1.5%的氢氧化钾水溶液；所述的酸类为硼酸、丁二酸、乙二酸、草酸、酒石酸、丙烯酸中的一种或两种以上的混合酸；所述的酸类的加入量按质量比计算，即酸类：碱性腐蚀液质量为0.01‑0.1：100；所述的表面活性剂为乙醇、甲基纤维素、十二烷基磺酸钠、聚乙二醇400、明胶、山梨醇中的一种或两种以上混合而成；所述的表面活性剂的加入量，按质量比计算，即表面活性剂：碱性腐蚀液为0.1‑7.5：100。
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