[发明专利]一种湿度传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 201410328078.6 | 申请日： | 2014-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN104062322A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞;张珽;谷文;沈方平;丁海燕;祁明锋 | 申请（专利权）人： | 苏州能斯达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 麦小婵;郝传鑫 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种湿度传感器，包括衬底，形成于所述衬底上的氧化硅层，电镀于所述氧化硅层上的下电极和加热电极，旋涂于所述下电极和所述加热电极上的湿度敏感层，以及电镀于所述湿度敏感层上的上电极；其中，所述下电极、所述加热电极和所述上电极由金属镍制成；所述湿度敏感层由高分子材料制成。采用本发明实施例，结构简单、灵敏度高、线性度好，且与CMOS工艺兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种湿度传感器，其特征在于，包括衬底，形成于所述衬底上的氧化硅层，电镀于所述氧化硅层上的下电极和加热电极，旋涂于所述下电极和所述加热电极上的湿度敏感层，以及电镀于所述湿度敏感层上的上电极；其中，所述下电极、所述加热电极和所述上电极由金属镍制成；所述湿度敏感层由高分子材料制成。
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