[发明专利]一种反射式多离轴镜面垂向测量装置

摘要

本发明公开一种采用反射式多离轴镜面的垂向测量装置，其特征在于，包括一光源发出的光线经过一照明光学系统后形成一测量光束，所述测量光束经过一测量光学系统，所述测量光学系统由一投影支路、待测物体和探测支路组成；所述测量光束依次经过所述投影支路的投影图形形成单元，所述投影支路的具有屈光力的离轴非球面反射镜组后到达所述待测物体表面；所述测量光束在所述待测物体表面的反射光束依次经过所述探测支路的具有屈光力的离轴非球面反射镜组和所述探测支路的投影图形接收单元后被一探测器探测，以获取所述待测物体表面的垂向信息。

主权项

一种采用反射式多离轴镜面的垂向测量装置，其特征在于，包括：一光源发出的光线经过一照明光学系统后形成一测量光束，所述测量光束经过一测量光学系统，所述测量光学系统由一投影支路、待测物体和探测支路组成；所述测量光束依次经过所述投影支路的投影图形形成单元，所述投影支路的具有屈光力的离轴非球面反射镜组后到达所述待测物体表面；所述测量光束在所述待测物体表面的反射光束依次经过所述探测支路的具有屈光力的离轴非球面反射镜组和所述探测支路的投影图形接收单元后被一探测器探测，以获取所述待测物体表面的垂向信息；所述投影支路和探测支路还包括若干反射镜组，用于使所述测量光束的光路满足空间结构约束和/或用于信号调制；所述投影支路的离轴非球面反射镜组依次包括：第一离轴非球面反射镜组、第二离轴非球面反射镜组、第三离轴非球面反射镜组以及第四离轴非球面反射镜组；所述探测支路的离轴非球面反射镜组依次包括：第五离轴非球面反射镜组、第六离轴非球面反射镜组、第七离轴非球面反射镜组以及第八离轴非球面反射镜组；所述若干反射镜组包含第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜位于所述第二离轴非球面反射镜组、第三离轴非球面反射镜组之间，所述第二反射镜位于第六离轴非球面反射镜组、第七离轴非球面反射镜组之间。