[发明专利]一种棒状蓝宝石晶体生长设备及其生长方法有效
申请号: | 201410329589.X | 申请日: | 2014-07-11 |
公开(公告)号: | CN104088014A | 公开(公告)日: | 2014-10-08 |
发明(设计)人: | 薛卫明;维塔利-塔塔琴科;吴勇;周健杰;牛沈军;马远 | 申请(专利权)人: | 江苏中电振华晶体技术有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/34 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人: | 滑春生 |
地址: | 226500 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种棒状蓝宝石晶体生长设备,还涉及一种采用该棒状蓝宝石晶体生长设备的实现棒状蓝宝石晶体生长的生长方法,包括模具、坩埚、晶体生长炉、主加热器及抽真空装置,所述模具置于坩埚中,坩埚置于晶体生长炉中,主加热器用以对晶体生长炉加热;所述模具为旋转对称表面模具,其侧表面为旋转几何表面,顶部端面为凹形表面,该凹形表面由三个相互交叉的斜平面组成,且所述三个斜平面的交点位于旋转几何表面的旋转对称轴上;所述模具内部设有与旋转几何表面的旋转对称轴相平行的一条或以上的贯通的毛细通道,其底部留有液体流向毛细通道的缝隙。本发明的优点在于:提出的棒状蓝宝石晶体的生长方法及设备,可制得棒状的蓝宝石晶体,有效提高蓝宝石晶体制备效率,利用该方法生长的晶体,经过定型加工,可作为衬底用于LED器件制造。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 晶体生长 设备 及其 生长 方法 | ||
【主权项】:
一种棒状蓝宝石晶体生长设备,包括模具、坩埚、晶体生长炉、主加热器及抽真空装置,所述模具置于坩埚中,坩埚置于晶体生长炉中,主加热器用以对晶体生长炉加热;其特征在于:所述模具为旋转对称表面模具,其侧表面为旋转几何表面,顶部端面为凹形表面,该凹形表面由三个相互交叉的斜平面组成,且所述三个斜平面的交点位于旋转几何表面的旋转对称轴上;所述模具内部设有与旋转几何表面的旋转对称轴相平行的一条或以上的贯通的毛细通道,其底部留有液体流向毛细通道的缝隙。
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