[发明专利]一种用于光刻设备的吸声装置有效
| 申请号： | 201410330541.0 | 申请日： | 2014-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN105242496B | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 徐士龙;钟亮;王璟;季采云 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于光刻设备的吸声装置，其特征在于，该吸声装置包括一弧形微穿孔板以及支撑该弧形微穿孔板的调节装置组成，该弧形微穿孔板上包括若干微穿孔，该调节装置与该微穿孔板球铰链连接；所述调节装置调节所述微穿孔板相对于被吸声器件的距离及角度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 设备 吸声 装置 | ||
【主权项】：
一种用于光刻设备的吸声装置，其特征在于，所述吸声装置包括一弧形微穿孔板以及支撑所述弧形微穿孔板的调节装置组成，所述弧形微穿孔板上包括若干微穿孔，所述调节装置与所述弧形微穿孔板球铰链连接；所述调节装置调节所述弧形微穿孔板相对于被吸声器件的距离及角度。
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