[发明专利]三氯氢硅的提纯方法有效
申请号: | 201410331701.3 | 申请日: | 2014-07-11 |
公开(公告)号: | CN104071791A | 公开(公告)日: | 2014-10-01 |
发明(设计)人: | 姜利霞;严大洲;杨永亮;肖荣晖;汤传斌 | 申请(专利权)人: | 中国恩菲工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴贵明;张永明 |
地址: | 100038*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种三氯氢硅的提纯方法。该方法包括将三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤,将三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤包括:将三氯氢硅粗液通入包括至少两个脱重塔的脱重塔组依次进行脱重处理,以获取经脱重处理得到的低沸物;将经脱重处理得到的低沸物送入包括至少一个脱轻塔的脱轻塔组依次进行脱轻处理,以获取三氯氢硅。该方法中,将三氯氢硅粗液先通过脱重塔组再通过脱轻塔组,可以使粗液进行脱重工序之后再进行脱轻工序。这种前段连续脱重、后段连续脱轻的设置能将粗液中的硅微粉杂质、高沸点氯化物及高沸点金属氯化物杂质在前段脱重过程中被分离,从而将这些易造成堵塞的杂质集中在前段脱重塔中,降低后续提纯塔和再沸器的堵塞几率。 | ||
搜索关键词: | 三氯氢硅 提纯 方法 | ||
【主权项】:
一种三氯氢硅的提纯方法,其特征在于,包括将三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤,所述将三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤包括:将三氯氢硅粗液通入包括至少两个脱重塔的脱重塔组依次进行脱重处理,以获取经脱重处理得到的低沸物;将所述经脱重处理得到的低沸物送入包括至少一个脱轻塔的脱轻塔组依次进行脱轻处理,以获取三氯氢硅。
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