[发明专利]望远镜四通轴孔端面平行度误差检测方法有效
申请号: | 201410333884.2 | 申请日: | 2014-07-14 |
公开(公告)号: | CN104154881B | 公开(公告)日: | 2017-02-15 |
发明(设计)人: | 王志臣;赵勇志;王槐;王国强 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所22210 | 代理人: | 南小平 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 望远镜四通轴孔端面平行度误差的检测方法,应用于光电设备加工的光学检测技术领域,为了解决现有的三坐标仪检测方法需购置三坐标测量仪,存在成本高的问题,该方法包括以下步骤,望远镜四通放置稳定,沿轴孔方向摆放自准直平行光管,将反射镜组件紧贴四通轴孔第一侧端面,反射面朝向自准直平行光管;调整自准直平行光管,使反射的十字丝像返回自准直平行光管中;测出自准直平行光管与反射镜的垂直误差,转动反射镜组件,每隔30°测量一次,用最小二乘法拟合第一侧轴孔端面与平行光管的垂直误差θ;将反射镜组件移到第二侧轴孔端面,与前述方法相同,拟合第二侧轴孔端面与平行光管的垂直误差δ;θ与δ的差值为望远镜四通轴孔端面平行度误差。 | ||
搜索关键词: | 望远镜 四通 端面 平行 误差 检测 方法 | ||
【主权项】:
望远镜四通轴孔端面平行度误差检测方法,其特征是,包括以下步骤:步骤一,将望远镜四通(2)放置稳定,沿轴孔方向摆放自准直平行光管(5),高度与望远镜四通(2)轴孔中轴线等高,使反射镜组件(4)的反射面朝向自准直平行光管(5),将反射镜组件(4)紧贴望远镜四通(2)轴孔第一侧端面,且位于望远镜四通(2)轴孔中心;步骤二,调整自准直平行光管(5)的摆放角度,使经平面反射镜(4‑4)反射的平行光管十字丝像返回自准直平行光管(5)中,并与十字丝重合,固定自准直平行光管(5);步骤三,通过自准直平行光管(5)测出此时自准直平行光管(5)与平面反射镜(4‑4)的垂直误差,记录测量数据θ0,将反射镜组件(4)绕望远镜四通(2)轴孔轴线顺时针旋转30°,紧贴望远镜四通(2)轴孔端面,测量并记录此时自准直平行光管(5)与平面反射镜(4‑4)的垂直误差θ30,如此重复,共测量12点,分别记录数据θ0,θ30,θ60,θ90,θ120,θ150,θ180,θ210,θ240,θ270,θ300,θ330;步骤四,按公式(a)计算对称点的平均值,并记录为θ1、θ2、θ3、θ4、θ5、θ6,θi=θ30(i-1)+θ30(i-1)+1802---(a)]]>按公式(b)用最小二乘法拟合望远镜四通(2)第一侧轴孔端面与自准直平行光管(5)的垂直度误差θ;Σi=16(θ-θi)2=min---(b)]]>步骤五,保持自准直平行光管(5)位置不动,将反射镜组件(4)移到望远镜四通(2)第二侧轴孔端面,使平面反射镜(4‑4)的反射面朝向自准直平行光管(5),使反射镜组件(4)紧贴望远镜四通(2)第二侧轴孔端面;步骤六,与步骤三中第一侧轴孔端面测量方法相同,共测量12点,分别记录数据δ0,δ30,δ60,δ90,δ120,δ150,δ180,δ210,δ240,δ270,δ300,δ330;步骤七,按步骤四中公式(a)计算对称点的平均值,并记录为δ1、δ2、δ3、δ4、δ5、δ6,按公式(c)用最小二乘法拟合望远镜四通(2)第二侧轴孔端面与自准直平行光管(5)的垂直度误差δ;Σi=16(δ-δi)2=min---(c)]]>综上,θ与δ的差值即为望远镜四通(2)两侧轴孔端面的平行度误差ε。
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