[发明专利]一种基于等离子体发光强度检测的射频离子源保护装置

摘要

本发明公开了一种基于等离子体发光强度检测的射频离子源保护装置，包括光纤准直镜、光纤过真空法兰、光纤适配器、第一石英光纤、光强比较器和联锁保护电路；所述光纤过真空法兰由穿过真空法兰的第二石英光纤构成，所述真空法兰用于使射频离子源放电腔实现真空密封；所述光纤准直镜固定在所述第二石英光纤的一端，用于收集射频离子源放电腔内的等离子体发光，所述第二石英光纤的另一端通过所述光纤适配器连接所述第一石英光纤的一端，所述第一石英光纤的另一端依次连接所述光强比较器和所述联锁保护电路。本发明根据光强检测结果决定是否采取相应的保护措施，增加了安全冗余，提高了系统的可靠性，为射频离子源提供了一种新的保护手段。

主权项

一种射频离子源保护装置，其特征在于，包括光纤准直镜、光纤过真空法兰、光纤适配器、第一石英光纤、光强比较器和联锁保护电路；所述光纤过真空法兰由穿过真空法兰的第二石英光纤构成，所述真空法兰用于使射频离子源放电腔实现真空密封；所述光纤准直镜固定在所述第二石英光纤的一端，用于收集射频离子源放电腔内的等离子体发光，所述第二石英光纤的另一端通过所述光纤适配器连接所述第一石英光纤的一端，所述第一石英光纤的另一端依次连接所述光强比较器和所述联锁保护电路；所述光强比较器用于根据所述光纤准直镜收集的光信号，判断等离子体的激发程度是否达到离子源稳态运行阶段的要求，所述联锁保护电路用于在离子源激发设定的时长后，等离子体的激发程度仍未达到离子源稳态运行阶段的要求时，切断射频功率源的主供电。