[发明专利]粘结膜以及化学研磨用表面保护膜

摘要

本发明提供一种不仅防止蚀刻液的浸入且在被粘附体上不发生残胶的粘结膜以及使用该粘结膜的化学研磨用表面保护膜。一种在树脂膜基材的单面上具有粘结剂层的化学研磨用表面保护膜，其特征在于，所述树脂膜基材的厚度为75μm以上，所述粘结剂层是通过使用含有硅烷偶联剂和交联剂的丙烯酸类粘结剂组合物来形成，将所述化学研磨用表面保护膜，在以所述粘结剂层为介贴合于玻璃基板上的状态下，浸渍于温度为27℃、浓度为15％的氢氟酸水溶液后，在用作被粘附体的所述玻璃基板的被粘附面的、所述化学研磨用表面保护膜的贴合面的端部出发距离80μm以上的部分，经过至少150秒以上未发生氢氟酸的渗透。

主权项

一种化学研磨用表面保护膜，其是在树脂膜基材的单面上具有粘结剂层的化学研磨用表面保护膜，其中，所述树脂膜基材的厚度为75μm以上，所述粘结剂层是通过使用含有丙稀酸类共聚物和硅烷偶联剂和交联剂的丙烯酸类粘结剂组合物而形成，所述丙烯酸类共聚物由相对于100重量份所述丙烯酸类共聚物的(A)合计为80～95重量份的烷基的碳原子数为C1～C14的(甲基)丙烯酸烷基酯单体中的至少一种以上与(B)合计为5～20重量份的选自于由含羟基乙烯基单体和含氮乙烯基单体所构成的组中的至少一种以上的共聚性乙烯基单体在不具有含羧基的单体的情况下共聚而成的丙烯酸类共聚物构成，在所述(A)合计为80～95重量份的烷基的碳原子数为C1～C14的(甲基)丙烯酸烷基酯单体中的至少一种以上中，以30重量份以上的比例含有(甲基)丙烯酸2‑乙基己酯单体，所述粘结剂层是通过使用粘结剂组合物而形成，所述粘结剂组合物相对于100重量份所述丙烯酸类共聚物含有(C)0.01～1重量份的硅烷偶联剂和(D)0.01～10重量份的交联剂，所述粘结剂层是以厚度为10～35μm的方式层叠而成，当所述粘结剂层的厚度为20μm时，相对于玻璃板的粘结力为0.1～1.5N/25mm，将所述化学研磨用表面保护膜，在以所述粘结剂层为介贴合于玻璃板上的状态下，浸渍于温度为27℃、浓度为15％的氢氟酸水溶液中之后，在从用作被粘附体的所述玻璃板的被粘附面的、所述化学研磨用表面保护膜的贴合面的端部出发距离80μm以上的部分，经过至少150秒以上未发生氢氟酸的渗透。