[发明专利]锆钛酸钡钙无铅压电薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201410337855.3 | 申请日： | 2014-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN104098331A | 公开（公告）日： | 2014-10-15 |
| 发明（设计）人： | 王增梅;王欢欢;蔡中兰;赵宽 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | C04B35/49 | 分类号： | C04B35/49;C04B35/624 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种锆钛酸钡钙无铅压电薄膜的制备方法，该锆钛酸钡钙的化学通式为：Ba(Ti0.8Zr0.2)O3-0.5(Ba0.7Ca0.3)TiO3。应用溶胶凝胶法旋涂制备锆钛酸钡钙湿膜，经热处理后得到锆钛酸钡钙无铅压电薄膜。该方法简单可靠，工艺重复性好，可操作性强。本发明制备的锆钛酸钡钙无铅压电薄膜致密均匀，具备优异的介电性能(相对介电常数可达1500)，可广泛应用于航空、信息、传感器等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 钛酸钡 钙无铅 压电 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种锆钛酸钡钙无铅压电薄膜的制备方法，其特征在于，采用溶胶凝胶法制备，包括如下步骤：步骤1、以化学通式Ba(Ti0.8Zr0.2)O3‑0.5(Ba0.7Ca0.3)TiO3为依据，按摩尔比18:3‑16:3的比例称取乙酸钡、一水乙酸钙，溶于冰醋酸和去离子水中搅拌均匀，配制钡钙前驱体液；按摩尔比10:1‑8:1比例称取钛酸四丁酯、硝酸氧锆，溶于冰醋酸和乙二醇甲醚中搅拌均匀，配制锆钛前驱体液；步骤2、将步骤1所述的钡钙前驱体液和锆钛前驱体液按照钙锆摩尔比2:1‑1:1的比例混合搅拌均匀，水浴恒温加热，制得BZT‑0.5BCT溶胶；步骤3、将步骤2所述BZT‑0.5BCT溶胶旋涂到Pt/Ti/SiO2三层结构基底上，以升温速率2.5℃/min进行中间热处理并随炉降温，在中间热处理得到的膜上继续旋涂BZT‑0.5BCT溶胶，重复至最后一层旋涂；步骤4、将步骤3所述旋涂至最后一层的湿膜进行最终热处理，得到锆钛酸钡钙无铅压电薄膜。
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