[发明专利]稀土离子掺杂的钨酸盐闪烁薄膜及其制备方法

摘要

一种稀土离子掺杂的钨酸盐闪烁薄膜及其制备方法，所述方法包括：1）向钨酸盐和/或钨酸的水溶液中，加入络合剂得到含钨元素的第一前驱体液；2）向Eu盐、Ln盐的水溶液中，加入络合剂得到含Eu、Ln的第二前驱体液；3）将第一前驱体液与第二前驱体液混合后得到前驱体透明溶胶；4）采用前驱体透明溶胶通过旋涂或提拉法在衬底上形成前驱体膜；5）对所述前驱体膜进行预烧处理；6）对所述前驱体膜进行退火处理。

主权项

一种新型静态成像用稀土离子掺杂的钨酸盐闪烁薄膜的制备方法，其特征在于，所述薄膜的组成为Ln_2(1‑x)Eu_2xWO₆，其中0.01≦x≦0.30，所述方法包括：1）向含有可溶性钨酸盐和/或钨酸的水溶液或水与醇的混合液中，加入络合剂混合均匀得到含钨元素的第一前驱体液，控制第一前驱体液的pH值在7‑10之间；2）向含有可溶性Eu盐、可溶性Ln盐的水溶液或水与醇的混合液中，加入络合剂混合均匀得到含Eu、Ln的第二前驱体液，其中Ln为Y、Lu、Gd、La中的至少一种，控制第二前驱体液的pH值在2‑4之间；3）将步骤1）制备的含钨元素的第一前驱体液与步骤2）制备的含Eu、Ln的第二前驱体液混合均匀后，搅拌得到前驱体透明溶胶，透明溶胶中Eu、Ln的浓度之和为0.02‑2.0mol/L；4）采用步骤3）中制备的前驱体透明溶胶通过旋涂或提拉法在衬底上形成前驱体膜；5）对所述前驱体膜于400～700℃进行预烧处理；6）对所述前驱体膜于700‑1000℃退火处理得到所述稀土离子掺杂的钨酸盐闪烁薄膜；其中，当一次旋涂或提拉、经预烧处理的前驱体膜未达到规定厚度时，重复在所述未达到规定厚度的前驱体膜上通过步骤4）中旋涂或提拉法涂覆前驱体透明溶胶、并在步骤5）中预烧工艺下预烧，直至所述前驱体膜的厚度至规定厚度，再进行步骤6）。