[发明专利]高真空电弧泵及其抽气机组在审
| 申请号： | 201410340733.X | 申请日： | 2014-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN104100492A | 公开（公告）日： | 2014-10-15 |
| 发明（设计）人： | 储继国 | 申请（专利权）人： | 储继国 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广东国欣律师事务所 44221 | 代理人： | 姜胜攀 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于真空获得技术领域，尤其涉及一种高真空电弧泵及其抽气机组。本发明在传统电弧泵的阴极靶中掺入高蒸汽压材料，高蒸汽压材料为镁、铝、鋅、钙或其中任意至少两种的混合，高蒸汽压材料在阴极靶中的重量百分比为0.5~80%，大幅度拓展了电弧泵的高真空工作范围。本发明在电弧泵的阴极靶和可开合的面板之间设有金属挡板，金属挡板与周围部件绝缘，消除了面板的温升，显著降低面板吸附气体的解吸，进一步提高了电弧泵的极限真空。另外，本发明电弧泵设有阴极靶消耗预警措施，有效避免了电弧泵冷却水套烧穿事故，提高了电弧泵运行的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 电弧 及其 抽气机 | ||
【主权项】：
一种高真空电弧泵，包括泵壳和电源，所述泵壳上设有泵口，所述泵壳一侧的可开合的面板上固设有基座，所述基座与所述面板绝缘，所述基座与所述电源负极电连接，所述基座内侧端与阴极靶固定连接，所述电源正极与所述泵壳电连接，其特征在于，所述泵壳内还设有位于所述阴极靶和所述面板之间的金属挡板，所述金属挡板与周围部件绝缘。
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